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基板接合不良検査装置

基板接合不良検査装置

装置概要

耐熱型基板の接合不良検査をオフラインで自動検査する装置です。

搬入ステーションにワークを置くと、表裏面を同時に検査し目視では検査できない剥離部を検出して、不良部にマーキングをしてから搬出します。

検査仕様

  • 検査方法  : 超音波パルス反射法
  • 処理能力  : 30秒/枚
  • 判定処理  : 自動判定
  • 結果記録  : 日時、機種、検査個数、OK個数、画像検査データなど
  • ワーク搬入出: 30枚入キャリア2式を手動セット

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